半導体工業におけるウエハーヘのパターン焼付にはフォトレジストを使用しております。
このパターン焼付作業室の照明光は500nm以下の波長成分の無いものが要求されております。
純黄色蛍光ランプはこのような用途に最適な蛍光ランプで、ガラス内面に500nm以下の波長成分をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けその上に蛍光体を塗布した構造となっています。
また最近の半導体工業の進展はめざましく、より集積度の高いLSI、VLSIなどへ製品の中心が移っております。
このような集積度の高いより微細なパターン焼付に際しては500nm以下の波長成分のより完全でより確実なカットが要望されてきました。
また半導体パターン焼付作業はクリーンルーム内で実施されていますが、ランプが破損するというアクシデントに際してもクリーンルーム内に、飛散しない飛散防止形が要望されています
このようなご要望を満足させるニュータイプとして高信頼形・LSI用純黄色蛍光ランプをラインアップしました。
この蛍光ランプの構造図は上図のように純黄色蛍光ランプのガラス外面全面に黄色ポリエステルチューブを熱収縮加工により密着させたものです。